無塵室火災探測的挑戰
- 高速氣流稀釋煙霧
- 煙霧會隨著空氣流動而被帶走，不會到達天花板
- 在無塵室中，即使是小火造成的污染也不能接受
因此，在無塵室的火災探測中，通常會指定使用吸氣式極早期偵煙探測系統
NFPA 318半導體製造設施保護標準
11.1.3 探測測系統
11.1.3.1* 煙霧探測系統。 潔淨室的迴風氣流中應設置具認證的煙霧探測系統
11.1.3.1.1 探測可以採用吸氣式煙霧探測（空氣取樣式煙霧探測）或局限型（點型）探測系統
11.1.3.2 潔凈室內的煙霧探測應能向監督站發出報警信號，並在潔凈室內發出本地報警信號，該信號應與設施的聲音報警信號和潔凈室內任何工藝設備的報警信號相區別
11.1.3.3 煙霧檢測應能在潔凈室內預期的氣流速度下運行
11.1.3.4 潔凈室煙霧探測系統應根據風險評估指定為財產保護系統或生命安全系統
11.1.3.4.1 當潔凈室煙霧探測系統被指定為生命安全系統時，當探測系統探測到煙霧達到11.1.3.5.2規定的水準時，應發出消防疏散信號
11.1.3.4.2 當潔凈室煙霧探測系統被指定為財產保護系統時，現場應急小組應在接到監督站收到預警信號后立即進行調查
11.1.3.4.3 當潔凈室煙霧探測系統被指定為財產保護系統時，不應要求潔凈室煙霧探測系統發出預警信號后自動發出消防疏散信號
11.1.3.5 當煙霧探測器安裝在華夫地板下方，用於檢測從潔淨室到Sub-Fab的氣流中的煙霧時，點型探測器或取樣點的覆蓋面積應限制在18.6m2（200ft2）以內
11.1.3.5.1 單個取樣點或點型探測器的最小預警靈敏度的最大值應為0.65%/m（0.2%/ft）
11.1.3.5.2 單個取樣點或點型探測器的最小警報靈敏度的最大值應為3.2%/m（1.0%/ft）
11.1.3.6* 在非基於性能設計標準的情況下，當煙霧探測器安裝在回風道入口處時，點型探測器或取樣點間距的面積覆蓋範圍應限制在0.4m2（4.3ft2）
11.1.3.6.1 單個取樣點或點型探測器的最小預警靈敏度的最大值應為0.65%/m（0.2%/ft）
11.1.3.6.2 單個取樣點或點型探測器的最小警報靈敏度的最大值應為3.2%/m（1.0%/ft）
11.1.3.7 對於空氣採樣型系統，從最遠端取樣點到檢測裝置的最大傳輸時間不應超過60秒
11.1.3.8 煙霧探測測系統的維護應符合 NFPA 72 的規定
11.2.6 熱釋性液體櫃
11.2.6.1 火災探測系統。 每個櫃子應配備符合下列條件的自動火災探測系統。
（1）自動探測系統。 每個櫃內應設置紫外/紅外、高靈敏度煙霧探測（HSSD）或其他經認證的探測系統。
（2）自動關機。 探測系統的啟動應自動關閉液體供應的截止閥。
潔淨區消防安全設備設置要點
一、電子工業廠房潔淨區（以下簡稱潔淨區）因潔淨環境及構造特殊，依消防法第六條第三項規定，不適用各類場所消防安全設備設置標準之一部，為依其特性規範消防安全設備之設置，供各級消防機關審查時遵循，特訂定本要點。 前項所稱電子工業，指積體電路製造業、半導體封裝及測試業、液晶面板及組件製造業、發光二極體製造業、太陽能電池製造業及其他經中央主管機關認定之業別。
七、潔淨室、下回風層及管橋應設置手動報警設備。 潔淨室、上回風層、下回風層及管橋應依循環氣流、空間特性，設置火警自動警報設備或吸氣式（Aspirating Type） 偵煙探測系統，其訊號應移報及整合於火警受信總機或其他控制設備或設施（站）。另回風豎井應設吸氣式偵煙探測系統。 設置火警自動警報設備時，應符合下列規定：
（一）設置偵煙式探測器。
（二）探測器之裝置位置，應符合各類場所消防安全設備設置標準第一百十五條之規定。但潔淨室風機過濾機組及下回風層格子樓板之孔洞，不受同條第一款及第三款之限制。
設置吸氣式偵煙探測系統時，應符合下列規定：
（一）靈敏度小於零點六遮蔽率（％obs／m）。
（二）取樣管之裝置位置，應符合下列規定：
1. 上回風層天花板下方距離三十公分範圍內。
2. 潔淨室天花板、下回風層格子樓板樑下方距離八十公分範圍內，且取樣孔不得位於格子樓板樑下方。
3. 回風豎井內或冷卻乾盤管處，潔淨循環氣流與新鮮空氣混氣前之位置。但潔淨循環氣流與新鮮空氣非在回風豎井內混氣者（如附圖三），不在此限。
（三）取樣管之取樣孔防護面積，應符合下列規定：
1. 裝置於上回風層時，每一取樣孔有效探測範圍以偵煙式探測器之有效探測範圍計算。
2. 裝置於潔淨室時，每一取樣孔有效探測範圍不得超過三十六平方公尺。
3. 裝置於下回風層時，每一取樣孔有效探測範圍不得超過十平方公尺。
4. 裝置於回風豎井或冷卻乾盤管時，每一取樣孔有效探測範圍不得超過一平方公尺。
（四）每一探測器組防護面積應符合各類場所消防安全設備設置標準第一百十二條規定。但裝置於下回風層、回風豎井或冷卻乾盤管時，每一探測器組防護面積應符合中央消防主管機關之認可值。
（五）探測粒子濃度變化達設定值時，應能發出警示；達火災發生設定值時，應能發出警報。
（六）每一取樣管之末端空氣取樣孔，空氣傳送時間不得超過一百二十秒。
（七）具取樣管路氣流異常之監測功能。
（八）取樣管路應以流體計算軟體進行計算與配置，並符合流體動力學原理。
（九）探測器組應裝置於易於維修之位置。
（十）取樣管路應施予適當之氣密及固定。
八、潔淨室、下回風層及管橋應設置標示設備。 前項標示設備因生產製程色溫、光線之特殊需求，與火警自動警報設備或吸氣式偵煙探測系統設有連動亮燈者，得予以減光或消燈。
九、潔淨區應依各類場所消防安全設備設置標準第二十八條規定，檢討設置排煙設備。但符合下列各款規定者，免設排煙設備：
（一）為防火構造建築物。
（二）避難步行距離符合建築技術規則建築設計施工編第九十三條之規定。
（三）設有吸氣式偵煙探測系統。
（四）設置自動撒水設備。 潔淨區設置排煙設備，因自動物料搬運系統作業需求，得免防煙壁區劃。
潔淨廠房吸氣式偵煙探測器單一取樣孔有效探測範圍（台灣標準）
無塵室/潔淨廠房 應用照片
